TTMMCS（溫度槽測量與控制系統）配置器 – 成套單手動槽溫度控制系統

LC1Z - 局部冷卻 1 區儲罐
LC1Z - 局部冷卻 1 區儲罐 （15）
LC2Z - 局部冷卻 2 區儲罐
LC2Z - 局部冷卻 2 區儲罐 （12）